Gate dielectric integrity - material, process, and tool qualification
- Författare
- (Dinesh C. Gupta and George A. Brown, editors.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| ASTM | 2000 | USA, West Conshocken, Pa | 169 sidor. |